光刻機/紫外曝光機(Mask Aligner) 又名 |

光刻機/紫外曝光機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。

常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫Mask Alignment System.一般的光刻工藝要經歷矽片 ... 光刻機光刻機/紫外曝光機(MaskAligner)又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。

常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工藝要經歷矽片表面清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。

Photolithography



常見光刻機曝光機問答